| 학회 |
한국재료학회 |
| 학술대회 |
2010년 봄 (05/13 ~ 05/14, 삼척 팰리스 호텔) |
| 권호 |
16권 1호 |
| 발표분야 |
E. Frontiers of Materials Research(선도 재료연구) |
| 제목 |
금속-절연체 상전이 이산화바나듐 박막의 형성 및 광학적 특성 (Formation and Optical Properties of Metal-Insulator Phase Transition Vanadium Dioxide) |
| 초록 |
본 연구는 스퍼터링 법을 이용하여 증착된 VOX막을 열처리 공정을 통해 화학양론조성을 갖는 VO2 박막의 형성과 상전이 온도인가에 따른 광학적 스위칭 변환 효율에 관한 실험을 하였다. VO2 박막은 반응성 RF 마그네트론 스퍼터링 기술을 이용하여 Ar과 O2의 혼합가스 조건하에서 실리카 (Silica) 기판 위에 약 60nm의 두께로 증착하였다. 그 후 산소 분위기 하에서 각각 3시간과 6시간 동안 350 ~ 500 °C 온도영역에서 열처리 공정을 수행하였다. 다양한 조건하에서 형성된 박막 중 화학양론조성의 VO2 박막은 약 3%의 산소 분압 조건에서 증착되어진 막에서 얻을 수 있었으며, 이를 X선 회절분석법 으로 확인하였다. VO2 박막의 가시광부터 적외선영역 (400~3000nm) 까지 금속-절연체 상전이 온도조건 (＞ 68 °C) 하에서 투과율 분석 결과 높은 thermochromic 특성을 나타냈으며, 이는 UV/VIS/NIR 분광기를 이용하여 분석하였다. 이러한 VO2 의 특성은 에너지 효율향상을 위한 스마트윈도우 시스템 적용을 위해 매우 유망할 것으로 보인다. |
| 저자 |
박승준1, 권순우2, 안진호1, 윤대호2, 이한영3, 양우석3
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| 소속 |
1한양대, 2성균관대, 3전자부품(연) |
| 키워드 |
VO2; 금속-절연체 전이특성; 후열처리; 적외선 투과도
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