| 학회 | 한국화학공학회 |
| 학술대회 | 1998년 가을 (10/23 ~ 10/24, 조선대학교) |
| 권호 | 4권 2호, p.3797 |
| 발표분야 | 재료 |
| 제목 | 유기금속 화학증착법을 이용한 BST 박막의 제조 |
| 초록 | Ba(methd)2, Sr(methd)2, Ti(MPD)(tmhd)2를 이용하여, cold wall 방식의 MOCVD 법 을 이용하여, Ba:Sr:Ti=1:1:2인 박막을 제조하였다. |
| 저자 | 이정현, 박만영, 심재용, 이시우 |
| 소속 | 포항공과대 |
| 키워드 | BST |
| 원문파일 | 초록 보기 |
