| 학회 | 한국재료학회 |
| 학술대회 | 2010년 가을 (11/11 ~ 11/12, 무주리조트) |
| 권호 | 16권 2호 |
| 발표분야 | B. Nano materials and processing Technology(나노소재기술) |
| 제목 | Electrical and Optical Properties of ITO Thin Films by Off-axis RF Magnetron Sputtering |
| 초록 | 투명전극 (TCO: Transparent Conductive Oxide)은 Solar cell, Touch panel, Sensor 등 많은 분야에 이용되어지고 있다. 현재 ITO는 가장 대표적인 TCO 물질로 상용화되어 실생활에 널리 사용되면서 그 수요가 늘어나고 있다. 상용화된 투명전극은 표시품질의 향상과 저전압 구동이 용이한 우수한 전기적 특성과 높은 광투과율 특성이 요구되고 있다. ITO 는 In2O3 에 SnO2 를 고용시켜 제조한 재료로서 가시광선 영역에서 투광 특성이, 적외선 영역에서는 반사특성이 우수하며 비교적 낮은 전기저항을 갖는 상온에서 안정한 산화물이다. ITO 투명전극은 LCD 에서 공통전극과 화소전극으로 쓰이고 있고 OLED 의 양극(Anode) 물질로서 사용되고 있다. 본 연구에서는 일반적인 RF Sputtering 방법보다 고품질의 박막제조가 용이하며 유연성 기판인 PET 등이 plasma 분위기에서 증착시 휘어지는 것을 방지할 수 있는 Off-axis 방법을 이용하여 저온 (약 130oC)에서 결정화된 ITO 박막을 얻고자 하였다. 이들의 박막을 이용하여 결정성 평가 (XRD) 와 UV-VIS-NIR Spectroscopy 를 이용하여 광학적 특성을 평가하였으며, Four-point probe resistivity measurement 를 이용하여 전기적 특성을 평가하여 결정화된 ITO 투명전극으로의 가능성을 확인하였다. |
| 저자 | 최형진, 정현준, 허성기, 윤순길 |
| 소속 | 충남대 |
| 키워드 | ITO; TCO; Off-axis Sputtering; PET |
