| 학회 | 한국화학공학회 |
| 학술대회 | 2003년 가을 (10/24 ~ 10/25, 한양대학교) |
| 권호 | 9권 2호, p.2794 |
| 발표분야 | 재료 |
| 제목 | 단성분계 산화막으로 구성된 적층형 다층구조박막의 형성과 열처리에 따른 물성분석 |
| 초록 | 본 연구에서는 강유전체 재료인 lead zirconium titanate (PZT)의 구성성분인 TiO2, ZrO2와 PbO과 같은 단성분계 산화재료를 각각 RTMOCVD (rapid thermal metalorganic chemical vapor deposition) 방법으로 적층형 다층박막을 구성하고, 후속 열처리로 박막간의 상호 확산에 의한 성분간의 재 분포 및 결정화로 단일상 강유전체 PZT 박막재료를 형성하는 공정개발을 주안점으로 한다. 각각의 구성 단일박막들의 두께에 따라 PZT의 조성 변화를 임의로 가능하게 하며 다양한 물성을 유도 할 수 있는 공정을 제시하였다. 특히 각층의 막 두께와 반복적으로 적층된 횟수에 따라 열처리 후의 단일상 박막의 결정성 및 물성의 변화에 미치는 영향이 연구되었다. TEM, SEM, XPS 등 여러 가지 분석 기구를 사용하여 물성들이 분석하였으며, 온도에 따른 박막의 구조 변화에 대한 data들이 제시된다. |
| 저자 | 이원규, 송병윤, 강병선 |
| 소속 | 강원대 |
| 키워드 | 적층형 박막;MOCVD;열처리;상호확산반응 |
| 원문파일 | 초록 보기 |
