| 학회 | 한국화학공학회 |
| 학술대회 | 1996년 가을 (10/18 ~ 10/19, 경북대학교) |
| 권호 | 2권 2호, p.2519 |
| 발표분야 | 재료 |
| 제목 | DMEAA를 이용한 알루미늄 유기금속 화학증착공정에서의 기사반응 메카니즘 연구 |
| 초록 | 본 연구를 통하여 알루미늄 화학증착공정에 유망한 유기금속 전구체인 DMEAA의 기상반응메카니즘을 규명하였으며 기상에서의 DMEAA의 거동을 관찰하였다. DMEAA는 상온하에서도쉽게 분해될 정도로 불안정한 화합물이었으며, 분해된 alane은 폴리머화되면서 수소를 방출하고이 수소와 분해된 dimethylethylamine이 결합하는 것으로 생각된다. DMEAA 분해반응의 활성화에너지는 0.948 kcal/mol로 나타났으며, 150oC 이상에서 급격히 분해됨으로써 기판온도 160oC이상에서 증착율이 감소하는 현상을 명확히 설명할 수 있었다. |
| 저자 | 박만영, 윤종호, 이시우 |
| 소속 | 포항공과대 |
| 키워드 | DMEAA; MOCVD |
| 원문파일 | 초록 보기 |
