| 학회 | 한국공업화학회 |
| 학술대회 | 2013년 봄 (05/01 ~ 05/03, ICC JEJU) |
| 권호 | 17권 1호 |
| 발표분야 | 포스터-환경에너지 |
| 제목 | 불산 대체를 위한 친환경 식각용액의 공정적용을 위한 순환사용방안 및 연구 |
| 초록 | 최근 구미에서 발생된 불산 유출사고로 인해 인명피해와 농작물, 축산, 토지오염 등 직접적인 불산의 위험성이 크게 대두 되었다. 불산은 산성이 그리 강하지 않지만 피부를 뚫고 조직속으로 침투해 호흡기 질환 및 뼈 조직을 손상 시키는 심각한 독성을 지니고 있다. 또한 불산이 가지는 높은 산화력으로 인하여 유리의 과부식으로 인한 투명도 저하 및 표면 조도의 증가, 식각 장치 부식, 유해가스 발생, 폐수처리 곤란 등 많은 문제점을 가지고 있다. 따라서 현시점에서 불산사용의 대체제 개발은 LCD산업 및 전자산업에서 당면한 시급한 과제이다. 본 연구에서는 불산 대체를 위한 비기체활성 식각용액 제조를 위해 산성불화 암모늄에 무기산, 계면활성제 등을 첨가하여 친환경적 식각용액을 제조하였다. 본 실험은 용액의 조성과 농도에 따른 식각 특성을 조사하고 식각용액의 실제 공정적용을 위해 순환사용 방안의 용액 농도 및 식각 특성을 연구 하였다. |
| 저자 | 장재민, 이철태, 김정민 |
| 소속 | 단국대 |
| 키워드 | nonHF; nonhydrofluoric acid; slimming; etching; LCD |
