화학공학소재연구정보센터
학회 한국공업화학회
학술대회 2022년 봄 (05/11 ~ 05/13, 제주국제컨벤션센터(ICC JEJU))
권호 26권 1호
발표분야 포스터-고분자
제목 Coumarin 기를 포함하는 수용성 고분자 합성 및 광가교 반응 연구
초록 본 연구에서는 coumarin 기를 포함하는 단량체를 합성하였으며, IR, NMR을 이용하여 그 구조를 확인하였다. 합성된 coumarin 기를 포함하는 단량체와 수용성 p-styrenesulfonic acid sodium salt를 이용하여 다양한 조성을 갖는 수용성 공중합체를 합성하였으며 이들의 광가교 반응에 대한 연구를 진행하였다. 다양한 조성의 공중합체를 물에 용해시킨 후 기판 위에 회전 도포하여 박막을 형성시켰다. 형성된 박막에 다양한 조건으로 UV를 조사한 후 UV, IR 등의 변화를 관찰하여 광가교 반응을 확인하였다. 포토마스크를 통한 UV 조사 후 증류수로 현상하여 네가티브형 패턴을 형성할 수 있음을 확인하였다.
저자 이수빈, 유정우, 최재학
소속 충남대
키워드 Water-soluble photoresist; Coumarin; Photolithography; Negative-type pattern; Photocrosslinking
E-Mail jaehakchoi@cnu.ac.kr