| 초록 |
본 연구는 Metalorganic chemical vapor deposition (MOCVD)를 이용한 전고체전지용 LiPON 전해질 박막을 증착시키고 증착온도에 따른 특성변화를 연구하였다. 전구체로 lithium dipivaloylmethane (Li(DPM), Li(C11H19O2)), triethyl phosphate (TEP, (C2H5)3PO4)를 사용하였고 질화 가스로 NH3를 사용하였다. 증착온도가 450 oC 일때, phosphorus 성분의 농도는 매우 낮았으며, 550 oC 로 온도가 증가함에 따라 phosphorus와 Nitrogen 성분의 농도도 함께 증가하였다. 이것은 온도가 낮을수록 TEP와 NH3가 반응하지 않는다는 것을 의미한다. 그러므로 증착온도가 증가함에 따라 LiPON 박막 성장률도 함께 증가한다는 것을 알 수있다. 그리고 분석을 통하여 adduct를 찾을 수 있는데, 550 oC 이상의 온도에서 모두 사라진다. 이것은 TEP와 Li(DPM), NH3가 550 oC 이상의 온도에서 반응한다는 것을 의미한다. 실험결과에 대하여 XRD, SEM, FT-IR, GDS, XPS를 통하여 분석하였다. |
