| 학회 | 한국공업화학회 |
| 학술대회 | 2019년 봄 (05/01 ~ 05/03, 부산 벡스코(BEXCO)) |
| 권호 | 23권 1호 |
| 발표분야 | 무기재료_포스터 |
| 제목 | Synthesis and application of titanium precursor |
| 초록 | 다양한 분야에서 안료 및 촉매로 사용되는 티타니아는 원광을 chlorination을 통해 TiCl4로 정제한 후 이를 다시 열처리하는 방법을 통해 공업적으로 대량 합성한다. 그러나 TiCl4가 가지는 여러 공정적인 단점을 보완하고 특수용도 제품에 활용 될 수 있는 티타니아를 합성하기 위해선 새로운 티타늄 전구체 도입이 절실하나, TTIP나 TTTB와 같은 산업에서 사용되는 티타늄 전구체의 경우 순도를 높이는 것에 어려움이 있거나, 혹은 가격 경쟁력이 부족한 것이 현실이다. 따라서 티타늄 전구체에 새로운 리간드를 도입하여 화학적 안정성 및 여러 공정에 활용하기 적합한 새로운 티타늄 전구체를 합성하였고, 이를 여러 분석기법을 이용하여 확정하였다. 그리고 이 티타늄 전구체를 활용하여 티타니아 박막을 성공적으로 합성하였다. |
| 저자 | 김욱현, 구상만 |
| 소속 | 한양대 |
| 키워드 | synthesis; precursor; CVD; film |
