학회 | 한국화학공학회 |
학술대회 | 1999년 봄 (04/23 ~ 04/24, 성균관대학교) |
권호 | 5권 1호, p.1637 |
발표분야 | 재료 |
제목 | 유기금속 화학증착을 위한 (Ba, Sr)TiO3 전구체의 평가 |
초록 | 유기금속 화학증착법에 사용하기 위한 새롭게 합성된 전구체를 평가하고, 증착 한다. |
저자 | 이시우, 이정현, 김주영 |
소속 | 포항공대 화학공학과 |
키워드 | MOCVD; BST; precursor |
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원문파일 | 초록 보기 |