화학공학소재연구정보센터
학회 한국화학공학회
학술대회 1999년 봄 (04/23 ~ 04/24, 성균관대학교)
권호 5권 1호, p.1637
발표분야 재료
제목 유기금속 화학증착을 위한 (Ba, Sr)TiO3 전구체의 평가
초록 유기금속 화학증착법에 사용하기 위한 새롭게 합성된 전구체를 평가하고, 증착 한다.
저자 이시우, 이정현, 김주영
소속 포항공대 화학공학과
키워드 MOCVD; BST; precursor
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