| 초록 |
유기물 DMMP를 감지하기 위해서 화학 테러 가스 중 신경 작용제의 유사 물질로 널리 알려진 SnO2 계 반도체 가스센서가 제조 되었다. 이 센서는 350℃, 0.5ppm 조건에서 60%의 높은 감도를 나타내었으나 인 성분의 피독 효과로 재생이 불가능 하였다. 재생성 향상을 위하여 SnO2에 MoO3와 SbO2를 첨가한 센서 소자를 제조하였고, 350℃에서 44%의 감도와 완전한 재생성을 나타내었다. 250℃, 350℃, 450℃의 실험 조건에서 각각 18%, 44%, 47%의 감도를 나타내었고, 각각의 온도에서의 재생성을 고려한 결과 최적의 조업 조건 온도는 350℃임을 알수 있었다. 350℃의 동일한 조건에서 혈액, 질식, 수포 작용제의 유사 화학 작용제로 알려진 Acetonitrile, Dichloromethane, DPGME등의 가스 감도들을 측정해본 결과 Acetonitrile은 5%, Dichloromethane은 16%, DPGME는 58%의 감도를 나타내었다. 이러한 결과는SnO2에 MoO3와 SbO2를 첨가한 가스센서 소자가 Acetonitrile, Dichloromethane 보다 DPGME, DMMP 물질에 좀 더 선택적인 반응성이 있음을 보여 주고 있다. |
