| 학회 | 한국화학공학회 |
| 학술대회 | 1999년 봄 (04/23 ~ 04/24, 성균관대학교) |
| 권호 | 5권 1호, p.1785 |
| 발표분야 | 재료 |
| 제목 | Raman 분광법을 이용한 OMVPE 전구체들의 열분해 연구 |
| 초록 | 본 연구는 광학적인 in-situ 실험기법 중 Raman 분광법을 사용하여 도립형 수직 OMVPE 반응기 내부의 위치에 따른 온도 분포와 전구체들(TMGa, NH3)의 열분해 과정을 조사하였다. 먼저, 운반 기체인 질소의 순수한 회전 Raman spectrum의 해석을 통해 반응기 내부의 축 중심 방향의 온도 분포를 측정하였고, 전구체들의 진동 Raman spectrum 분석을 통해 이들의 열분해 과정을 조사하였다. |
| 저자 | 이순애, 박진호 |
| 소속 | 영남대 |
| 키워드 | Pyrolyses; Raman Spectroscopy; OMVPE |
| 원문파일 | 초록 보기 |
