| 학회 | 한국고분자학회 |
| 학술대회 | 2013년 가을 (10/11 ~ 10/12, 창원컨벤션센터) |
| 권호 | 38권 2호 |
| 발표분야 | 고분자합성 |
| 제목 | 투명한 고내열 감광성 폴리이미드 수지 개발 |
| 초록 | 현재 디스플레이에서 사용되고 있는 Photoresist(PR)는 대부분 아크릴계 기반 고분자 수지로 빠른 현상속도, 우수한 감광성, 뛰어난 투명성 및 높은 해상도등을 나타낸다. 이러한 아크릴계 고분자 수지를 기반으로 하는 PR의 경우 높은 온도의 공정 조건하에서 낮은 Tg와 열에 약한 아크릴기의 특성으로 인하여 변색, 패턴의 파괴 등의 문제점을 나타낸다. 이를 해결하기 위한 방안으로 투명성이 좋은 불소계 무수화물과 디아민 단량체를 기반으로 사용하여 아크릴계 PR 수지 대신 단독 사용이 가능하면서 동시에 알칼리 현상액에 현상이 가능한 고내열 감광성 폴리이미드수지를 합성하여 열적특성 및 현상특성을 조사하였다. |
| 저자 | 송시진, 김재훈, 이명훈 |
| 소속 | 전북대 |
| 키워드 | polyimide; 폴리이미드; 고내열 |
