| 학회 | 한국화학공학회 |
| 학술대회 | 1999년 가을 (10/22 ~ 10/23, 경남대학교) |
| 권호 | 5권 2호, p.4145 |
| 발표분야 | 재료 |
| 제목 | Ru(OD)3를 사용한 유기금속화학증착에 의한 Ru/RuO2박막의 O2/O2+Ar비율에 따른 영향 |
| 초록 | 소자의 집적도가 높아짐에 따라 BST, PZT등의 높은 유전상수를 갖는 물질에 대한 연구가 활발히 이루어 지고 있다. 이러한 물질은 높은 온도와 산화분위기의 공정을 요구하기 때문에 Pt와 같은 noble metal를 전극재료로 요구하나 이는 식각이 어렵다는 단점때문에 대체 물질을 필요로 한다. 이에 RuO2는 전기 전도도가 높고 diffusion barrier로서의 역할을 하며 건식에 적합하기에 대체물질로 각광을 받고 있다.본 연구에서는 Ru(OD)3 전구체를 사용하여 MOCVD방법에 의해 박막을 제조하였다. 산소와 아르곤의 비율을 바꿔가면서 박막에 미치는 영향을 알아보았다. |
| 저자 | 김주영, 이정현, 이시우 |
| 소속 | 포항공과대 |
| 키워드 | MOCVD; RuO2 |
| 원문파일 | 초록 보기 |
