| 초록 |
Molybdenum disulfide (MoS2) 은 근래에 가장 활발하게 연구되고 있는 2차원 전이금속 디칼코게나이드 (Transition Metal Dicalcogenide, TMD) 계의 반도체 물질로 두께에 따라 전기적, 광학적 특성이 변하는 성질을 갖고 있다. 이러한 2차원 반도체 물질의 두께조절, doping 및 구조변형 등을 통하여 전기적, 광학적 특성을 제어하는 것은 다양한 반도체 소자 응용에 핵심적인 요소이다. 본 연구에서는 리모트 타입의 유도결합 플라즈마를 이용하여 chlorine 플라즈마 처리에 따른 MoS2 의 전기적, 광학적 특성을 제어하였다. X-ray Photoelectron Spectroscopy (XPS) 및 Kelvin Probe Force Microscope (KPFM) 분석을 통하여 도핑 농도에 따른 일함수 제어를 확인하였고, MoS2 Field-Effect Transistor (FET) 의 광전류 (photocurrent) 측정을 통해 가시광선 영역 (green, λ = 520 nm) 및 근적외선 영역 (λ = 785 nm) 에서 광전특성 향상을 확인하였다. |
