화학공학소재연구정보센터
학회 한국화학공학회
학술대회 1995년 가을
권호 1권 2호, p.1369
발표분야 재료
제목 DMEAA 를 이용한 알루미늄 화학증착에서 온도가 박막의 미세구조에 미치는 영향
초록
저자 김병엽, 이시우
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