| 학회 |
한국재료학회 |
| 학술대회 |
2014년 봄 (05/15 ~ 05/16, 창원컨벤션센터) |
| 권호 |
20권 1호 |
| 발표분야 |
A. 전자/반도체 재료(Electronic and Semiconductor Materials) |
| 제목 |
초음파 분무 MOCVD법에 의해 제조된 ZnO 박막의 원료용액의 농도 및 증착 온도에 따른 특성 및 미세구조 변화 |
| 초록 |
초음파 분무 MOCVD법에 의해 제조된 ZnO 박막의 출발원료용액의 농도, 증착온도 등 증착 조건이 미세구조 및 특성에 미치는 영향에 대해 조사하였다. 출발원료로는 Zinc acetylacetonate을 사용하였다. 0.02M의 원료용액의 경우 300℃까지는 표면반응지배영역에 해당하고 그 이상에서는 물질전달지배영역에 해당하였다. 0.04M의 원료용액의 경우는 전 온도범위에서 표면반응지배영역에 해당하였다. 표면반응지배 조건에서 증착된 막은 결정립들이 판주상의 형태로 성장하였으며 결정립들 사이에 빈 공간이 존재하였다. 또한 결정립들은 임의의 결정방향을 가지고 성장하였다. 물질전달지배 조건에서 증착된 박막은 괴상의 형태를 가진 결정립들로 매우 치밀한 미세구조를 가지고 있었다. |
| 저자 |
이춘호, 최민석
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| 소속 |
계명대 |
| 키워드 |
초음파 분무; MOCVD; ZnO
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