| 학회 |
한국공업화학회 |
| 학술대회 |
2019년 봄 (05/01 ~ 05/03, 부산 벡스코(BEXCO)) |
| 권호 |
23권 1호 |
| 발표분야 |
환경·에너지_포스터 |
| 제목 |
아크 플라즈마 토치를 이용한 난분해성 PFCs 가스 분해 특성 |
| 초록 |
반도체 산업 공정에서 주로 사용되는 PFCs 가스는 대기 중 체류기간이 매우 길고 지구 온난화지수가 이산화탄소의 수천에서 수만 배에 이르는 온실기체로서 현재 반도체 산업의 성장 추세와 함께 배출량도 증가하고 있기 때문에 국제적 협약을 이행하기 위해서는 고효율 분해 기술이 필요하다. 그러나 PFCs 가스를 열분해 하기 위해서는 3,000K 이상의 고온이 요구되므로 화학적으로 안정한 PFCs 가스의 효과적인 분해를 위해서 열플라즈마 기술이 주로 사용되고 있다. 열 플라즈마는 플라즈마에 의해 발생된 고온 조건의 반응부에 제거가스가 접촉하여 PFCs를 제거하는 기술로서 화학 활성종과의 반응성이 좋아 높은 분해효율을 얻을 수 있지만 처리가스의 접촉 효율이 떨어질 경우 분해효율이 낮아지게 되고 전력 소모 증가 및 전극의 내구성이 저하될 수 있으므로 저전력, 고효율의 플라즈마 토치 설계에 따른 분해 기술이 필요하다. 본 연구에서는 저에너지 고효율의 플라즈마 시스템 설계 인자를 도출하고자 비이송식 아크 플라즈마 토치를 이용한 플라즈마 발생 전류-전압에 따른 전력소모량 및 난분해성 PFCs 가스의 분해 특성을 확인하였다. |
| 저자 |
황상연1, 엄성현1, 이동헌1, 차우병2
|
| 소속 |
1고등기술(연), 2플라즈마텍 |
| 키워드 |
PFCs; Thermal plasma; Arc plasma torch
|
| E-Mail |
|
