| 학회 | 한국재료학회 |
| 학술대회 | 2011년 가을 (10/27 ~ 10/29, 신라대학교) |
| 권호 | 17권 2호 |
| 발표분야 | B. Nanomaterials and Processing Technology(나노소재기술) |
| 제목 | ZnO 박막의 산소 분압에 따른 성장 모드 변화 |
| 초록 | ZnO는 2-6족 화합물 반도체로 매우 다양한 분야에서 사용되고 있다. 하지만 산소의 분압에 따라 Zn 와 O의 화합물 조성비가 변하며, 이는 박막 성장시 성장 모드에 가장 중요한 변수 중 하나로 여겨지고 있다. 본 연구에서는 ZnO 박막 성장 과정에서 O의 분압 및 흐름 변화에 따라 각각 어떠한 성장이 이루어지는지를 살펴보았으며, 이는 이후 박막 성장 모드의 변화를 연구하는 데 도움이 될 수 있을 것이다. |
| 저자 | 이도한, 장삼석, 임소영, 변동진 |
| 소속 | 고려대 |
| 키워드 | ZnO 박막; 산소분압; 흐름 변화 |
