| 학회 | 한국화학공학회 |
| 학술대회 | 1999년 가을 (10/22 ~ 10/23, 경남대학교) |
| 권호 | 5권 2호, p.4477 |
| 발표분야 | 재료 |
| 제목 | 사파이어 기판의 방향성에 따른 GaN 박막 성장 |
| 초록 | 본 연구에서는 sapphire 기판의 방향성에 따른 GaN의 성장과 더불어 그 특성을 평가하고자 한다. 즉, sapphire C-plane, A-plane, R-plane 위에 GaN epilayer를 OMVPE법을통하여 동일한 조건으로 증착시키고, 증착된 GaN 박막의 결정성과 광학적 특성을 분석하였다. |
| 저자 | 이순애, 박진호 |
| 소속 | 영남대 |
| 키워드 | GaN; substrate orentation; Raman Spectroscopy |
| 원문파일 | 초록 보기 |
