학회 한국화학공학회 학술대회 1995년 봄 권호 1권 1호, p.836 발표분야 재료 제목 초고집적 소자를 위한 구리의 PECVD 에 관한 연구 초록 저자 이경옥, 황순택, 최광진, 최형수, 조영상 소속 키워드 E-Mail 원문파일 초록 보기 목록보기
