| 학회 | 한국재료학회 |
| 학술대회 | 2013년 봄 (05/23 ~ 05/24, 여수 엠블호텔(THE MVL)) |
| 권호 | 19권 1호 |
| 발표분야 | F. 광기능/디스플레이 재료(Optical Functional and Display Materials) |
| 제목 | 터치패널센서 적용을 위한 층간 유무기 절연층의 광학적 및 전기적 성질에 관한 연구 |
| 초록 | 최근 폭발적으로 시장이 증가하고 있는 스마트폰의 보급 및 실용화에 있어서 터치패널센서는 중요한 역할을 하고 있다. 스마트폰의 박형화 및 경량화를 위해서 터치패널센서는 코팅 형태로 진화해 가고 있으며 최근 박막 공정만으로 구성된 제조 공정까지 발전하고 있다. 본연구에서는 박막 패턴 공정의 적용에 있어서 투명전도전극 패턴층 간을 절연할 수 있는 유기막, 무기막, 또는 유·무기 적층막의 광학적 투과도를 전산모사를 통하여 예측하고 이를 실제 제작하여 측정 비교하였다. 추가적으로 이러한 다양한 절연층들의 절연 특성에 대해 측정 비교한 후에 실제 소자 적용을 위하여 고찰하였다. 무기막은 SiO2, Al2O3, TiO2로 Sputter를 이용한 증착 시 산소분압(20%, 15%, 10%, 5%, 0%)에 따른 특성을 측정하였다. 유기막인 PDMS는 spin coater를 이용한 증착 시 RPM(500, 1500 ,2500)에 따른 특성을 측정하였다. 실험을 바탕으로 제작한 유·무기 복합막(O2 5% Al2O3, 2500rpm PDMS)의 투과율(550nm)이 96.70%로 가장 높게 측정되었고, 4.72x10-4μA/cm2의 낮은 leakage current값이 측정되었다. 유·무기 복합막이 Al2O3 단층에 비해 투과율이 증가한 것으로 보아 index matching 효과를 보였고, leakage current도 감소하여 더 우수한 절연성을 지닌 것을 나타내었다. |
| 저자 | 정문기, 이희철 |
| 소속 | 한국산업기술대 |
| 키워드 | 터치패널센서; 절연층; 유무기복합층; 광학적투과도 |
