화학공학소재연구정보센터
학회 한국공업화학회
학술대회 2011년 봄 (05/11 ~ 05/13, 제주국제컨벤션센터)
권호 15권 1호
발표분야 교육프로그램
제목 AFM의 원리와 응용
초록 원자현미경은 전자현미경과 마찬가지로 광학현미경의 공간분해능을 넘는 시료 표면의 정보를 측정한다는 점에서 비슷하지만, 탐침을 직접 시료 표면에 나노미터 정도로 근접하여 시료를 측정하므로 시료의 표면 형상에 대한 정보 뿐만 아니라 그 전기/기계/화학적 정보와 같은 부가적인 정보를 함께 얻을 수 있는 장점을 가지고 있다. 이러한 원자현미경의 특성은 시료 표면이 상변이나 화학반응을 거치면서 생기는 변화를 다각도로 분석할 수 있는 방법을 제공한다. 이와 같은 분석의 예를 각 물성에 따른 측정 원리와 함께 제시하고자 한다.
저자 김아람
소속 ㈜파크시스템스
키워드 원자현미경; EC-AFM; SKPM; Conductive AFM; 표면분석
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