| 학회 |
한국고분자학회 |
| 학술대회 |
2018년 가을 (10/10 ~ 10/12, 경주컨벤션센터) |
| 권호 |
43권 2호 |
| 발표분야 |
기능성 고분자 |
| 제목 |
The formation of patterned layer derived from perhydropolysilazane by photolithography process using pulsed UV |
| 초록 |
최근 내지문성이 향상된 디스플레이용 발수필름을 제작하기 위한 연구가 활발히 진행되어 오고 있으며, 표면에 발수특성을 부여하기 위해 표면 거칠기를 제어함과 동시에 낮은 표면에너지를 갖는 화합물을 이용한 화학적 처리를 하고 있다. 본 연구에서는 경화 후 유리와 유사한 특성을 갖는 perhydropolysilazane을 이용하여 투명한 박막을 형성하였으며, 형성된 박막에 펄스 UV를 이용한 포토 리소그래피 공정을 거쳐 표면에 규칙적인 모폴로지를 형성하였으며, 그 형상을 관찰하였다. 또한 일정 패턴이 형성된 폴리실라잔 박막에 불소계 실란 화합물 (1H, 1H, 2H, 2H-perfluorooctyltriethoxysilane)을 코팅하여 형성된 박막의 발수특성을 접촉각 측정장치를 이용하여 평가하였다. |
| 저자 |
송광식, 김영훈, 백한솔, 백정주, 장기철, 신교직, 최경호
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| 소속 |
한국생산기술(연) |
| 키워드 |
PHPS; Pulse UV; Patterning; Photo lithography
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