| 초록 |
RF (Radio-Frequency) 열플라즈마를 이용하여 인듐 (Indium)이 고용된 ZnO (IZO) 나노 분말을 합성하였다. 이를 위해, 수 μm 크기의 ZnO와 In2O3 분말을 각각 100:0, 98:2, 96:4 wt.%의 비율로 혼합된 원료분말을 RF plate power 140 kVA, 670 Torr 반응기 압력 조건에서 발생된 Ar/O2 플라즈마에 투입하여 처리하였다. 플라즈마 처리된 나노 분말에 대한 FE-SEM (Field Emission - Scanning Electron Microscopy) 사진으로부터 육면체 (Hexagonal) 형과 테트라포드 (Tetrapod) 형이 혼재되어 있음을 관찰하였으며, X-ray diffraction Pattern과 SAED (Selected Area Electron Diffraction) 데이터로부터 인듐이 고용된 wurtzite 구조의 ZnO로 결정화 되었음을 확인하였다. 또한 합성된 IZO 나노 분말은 인듐의 고용 함량이 증가함에 따라 입자 크기가 줄어들고 결정성이 저감된 반면 전기 전도성이 향상되는 경향을 보였다. |
