| 학회 | 한국공업화학회 |
| 학술대회 | 2015년 가을 (11/04 ~ 11/06, 제주국제컨벤션센터(ICCJEJU)) |
| 권호 | 19권 2호 |
| 발표분야 | 디스플레이_포스터 |
| 제목 | 디스플레이용 Si계 무기막 및 무/유기막 적층구조의 배리어 필름 제작 및 특성 평가 |
| 초록 | 배리어 필름은 식품, 의약용 포장 등의 다양한 분야에서 쓰이고 있다. 배리어 필름은 무기, 유기의 다양한 재료들이 있지만 대부분의 유기막 재료들은 단독으로 쓰였을 때에는 산소와 수분에 대한 배리어 특성이 우수하지 않으며, 시간이 지남에 따라 재료의 기능이 저하되어 배리어 필름이 적용된 소자의 성능을 떨어뜨린다. 그리고 배리어 필름을 LCD, OLED, QDTV 등과 같은 디스플레이에 적용하기 위해서는 더 우수한 배리어 특성을 요구한다. 따라서 이를 해결하기 위하여 Si계의 무기막을 유기막과 함께 사용하면 유기막만 이용하였을 때와는 달리 기판 등의 결함을 줄여주어 배리어 특성을 향상시킬 수 있다. 또한, 이러한 배리어 필름들은 디스플레이에 적용하기 위해서는 가시광선 영역에서의 투과도도 우수하여야 한다. 본 연구에서는 스퍼터링을 이용하여 PET 기판에 증착된 다양한 두께의 Si계 무기막 혹은 무/유기막 적층구조의 배리어 및 광학 특성을 평가하였다. |
| 저자 | 이진주 |
| 소속 | 한화첨단소재 |
| 키워드 | 배리어 필름; SiOx; SiON |
