| 학회 | 한국화학공학회 |
| 학술대회 | 1999년 가을 (10/22 ~ 10/23, 경남대학교) |
| 권호 | 5권 2호, p.4457 |
| 발표분야 | 재료 |
| 제목 | 혼합 전구체를 이용한 SrTiO3 박막의 유기 금속 화합물 증착 공정에 관한 연구 |
| 초록 | Sr(DPM)2와 Ti(O-iPr)2(DPM)2의 혼합 원료를 이용하여 유기 금속 화학 기상 증착법으로 SrTiO3 박막을 증착하였다. 혼합 전구체는 가열되는 동안에 heterometallic complex를형성하는 것을 TGA를 이용하여 확인하였다. AES 분석 결과로부터 고체 혼합 원료의 조성이 변하더라도 Ti에 의해 형성된 heterometallic complex만이 기화되어 반응기안으로 유입되어 박막의 Sr 조성이 거의 일정하게 유지됨을 알 수 있었다. |
| 저자 | 허정식, 류현규, 조성일, 조용석, 문상흡 |
| 소속 | 서울대 |
| 키워드 | 혼합 원료; SrTiO3 |
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| 원문파일 | 초록 보기 |
