화학공학소재연구정보센터
학회 한국재료학회
학술대회 2008년 가을 (11/07 ~ 11/07, 차세대융합기술연구원)
권호 14권 2호
발표분야 전자재료
제목 Durability study of Ag-alloy thin films for transparent conductive multilayer coatings according to the heat and humidity treatment
초록 다층 구조 투명 전도막의 degradation을 개선하기 위하여 순수 Ag 대신 Ag 합금 박막을 사용한 다층막의 내구성을 비교 연구하였다. 투명 전도막 용도로 사용되는 금속층 두께 영역에서 Ag 박막의 열적 응집 개선에 미치는 합금 효과를 정량적으로 비교하고 열에 의한 degradation 개선에 유용한 첨가 금속을 논의하였다. 다층막의 열처리 후 전기적 그리고 광학적 물성 변화로부터 합금에 의한 thermal stability 개선 효과를 비교하였다. Ag 합금 박막의 수분 가속 실험을 통해 첨가 금속이 Ag박막의 수분에 의한 degradation 개선에 미치는 효과를 비교하였다. 열에 강한 첨가원소는 Cu 였으며 수분에 강한 첨가원소는 Au임을 알 수 있었다.  
저자 노희숙1, 조선희2, 김근홍1, 이원종2
소속 1Agency for Defense Development, 2KAIST 신소재공학과
키워드 transparent conductive; multilayer; Ag; Ag-alloy; ITO; degradation; durability
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