| 학회 | 한국재료학회 |
| 학술대회 | 2013년 가을 (11/06 ~ 11/08, 제주롯데호텔) |
| 권호 | 19권 2호 |
| 발표분야 | F. 광기능/디스플레이 재료(Optical Functional and Display Materials) |
| 제목 | 패턴된 사파이어 기판 상에 성장된 AlGaN 박막의 특성 연구 |
| 초록 | 패턴된 사파이어 상에 3-5족 박막을 성장시키는 방법은 광소자에서 추출 효율 및 양자 효율을 증가시킬 수 있는 가장 탁월한 기술 중의 하나로, 이미 산업 및 연구 전반에서 널리 사용되고 있다. 하지만 이러한 패턴된 기판 상에 성장된 박막은 기판의 요철로 인해 평판 기판에서 성장된 박막에 비해 결정성 및 광학적 성질이 떨어지게 된다. 본 연구진은 이러한 패턴된 기판에서의 단점을 줄이고 박막의 특성을 향상시키는 방법에 대해 연구하였다. |
| 저자 | 조성찬, 이도한, 김원호, 김대식, 이제행, 변동진 |
| 소속 | 고려대 |
| 키워드 | AlGaN; PSS |
