| 학회 | 한국고분자학회 |
| 학술대회 | 2002년 가을 (10/11 ~ 10/12, 군산대학교) |
| 권호 | 27권 2호, p.303 |
| 발표분야 | 기능성 고분자 |
| 제목 | 옥심-우레탄 그룹을 가진 고분자의 광가교반응 규명 |
| 초록 | 자외선 조사에 의해 염기를 발생시키는 광염기 발생제는 에폭시 수지의 가교, 이미드화 촉매, 염료 및 형광 이미지 저장 재료 등에 응용되고 있다. 옥심-우레탄 그룹을 가진 고분자는 자외선을 조사하면 아민 라디칼이 생성되어 coupling 반응을 하고 분해되지 않은 옥심-우레탄 그룹은 post exposure baking시에 isocyanate기를 생성한다. 이때 생성된 isocyanate기가 아민과 반응하여 urea기를 생성함으로써 고분자의 가교반응을 일으키게 됨을 모델화합물을 이용한 광화학 반응으로서 알 수 있었다. 이런 가교반응 경로에 따라 옥심-우레탄 그룹을 가진 고분자는 자외선을 조사한 부분만 선택적으로 가교되므로 네가형 포토레지스트로의 응용할 수 있었고 최적의 광가교와 열가교 조건에 의해 선폭이 2 ㎛인 매우 선명한 네가형 이미지를 얻을 수 있었다. {image1} |
| 저자 | 성경희, 채규호 |
| 소속 | 전남대 |
| 키워드 | |
