| 학회 |
한국재료학회 |
| 학술대회 |
2010년 봄 (05/13 ~ 05/14, 삼척 팰리스 호텔) |
| 권호 |
16권 1호 |
| 발표분야 |
H. Advanced Coating Techniques(첨단 코팅 기술) |
| 제목 |
구리 전기도금시 Anode에 따른 효과 분석 |
| 초록 |
전기도금을 이용한 구리박막 형성시, 사용되는 Anode 종류에 따라 전착된 구리박막의 특성이 달라진다. 본 연구에서는 Andoe 종류에 따른 전착된 구리박막의 특성을 조사하였다. 전해액과 유기첨가제는 일정하게 유지하고, Andoe를 함인동과 백금으로 달리하여 사용하였다. 전착시 Cu seed (20 nm) / Ti (20 nm) / p-type Si (100)을 Cathod기판으로 사용하였다. Anode에 종류에 따른 전착된 박막의 표면상태, 화학 조성 및 불순물의 존재 여부 및 전기적 특성을 조사하기 위하여 FE-SEM, XPS 및 4-탐침법을 이용하여 측정하였다. 본 연구는 지식경제부가 지원하는 국가 반도체 연구개발사업인 “시스템집적반도체기반기술개발사업(시스템 IC 2010)"을 통해 수행된 연구임. |
| 저자 |
이용혁, 최은혜, 강성규, 주현진, 나사균, 이연승
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| 소속 |
한밭대 |
| 키워드 |
전기도금; anode; Cu
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| E-Mail |
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