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Plasma etching of SiO2 using perfluoropropyl vinyl ether 박진수, 김준현, 김창구 한국화학공학회 2019년 봄 학술대회 |
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Plasma etching of SiO2 using hexafluoroisopropanol 박진수, 김준현, 김창구 한국화학공학회 2018년 가을 학술대회 |
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Plasma etching of SiO2 using low-GWP etchants 박진수, 김준현, 김창구 한국화학공학회 2018년 봄 학술대회 |
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Use of heptafluoroisopropyl methyl ether for plasma etching of SiO2 박진수, 김준현, 김창구 한국화학공학회 2018년 봄 학술대회 |
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Dependence of SiO2 etch rates on the ion-incident angle at various bias voltages in a C4F8 plasma 박창진, 김창구 한국화학공학회 2017년 봄 학술대회 |
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Electrostatic effects on the droplet contact charging phenomena 양석환, 임도진 한국화학공학회 2016년 가을 학술대회 |
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Charging behavior and electrochemical effect of electrolytes on droplet contact charging phenomena 양석환, 임도진 한국화학공학회 2016년 봄 학술대회 |
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Effect of bias voltage on the angular dependence of SiO2 etch rates in fluorocarbon plasmas 박정근, 김준현, 김창구 한국화학공학회 2016년 봄 학술대회 |
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Etch mechanism of Si3N4 in a C4F6/Ar/O2/CH2F2 plasma 조성운, 김준현, 김창구 한국화학공학회 2015년 봄 학술대회 |
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Angular dependence of Si3N4 etch rates in fluorocarbon plasmas 김준현, 조성운, 김창구 한국화학공학회 2015년 봄 학술대회 |