화학공학소재연구정보센터
번호 제목
24 Plasma etching of SiO2 using perfluoropropyl vinyl ether
박진수, 김준현, 김창구
한국화학공학회 2019년 봄 학술대회
23 Plasma etching of SiO2 using hexafluoroisopropanol
박진수, 김준현, 김창구
한국화학공학회 2018년 가을 학술대회
22 Plasma etching of SiO2 using low-GWP etchants
박진수, 김준현, 김창구
한국화학공학회 2018년 봄 학술대회
21 Use of heptafluoroisopropyl methyl ether for plasma etching of SiO2
박진수, 김준현, 김창구
한국화학공학회 2018년 봄 학술대회
20 Dependence of SiO2 etch rates on the ion-incident angle at various bias voltages in a C4F8 plasma
박창진, 김창구
한국화학공학회 2017년 봄 학술대회
19 Electrostatic effects on the droplet contact charging phenomena
양석환, 임도진
한국화학공학회 2016년 가을 학술대회
18 Charging behavior and electrochemical effect of electrolytes on droplet contact charging phenomena
양석환, 임도진
한국화학공학회 2016년 봄 학술대회
17 Effect of bias voltage on the angular dependence of SiO2 etch rates in fluorocarbon plasmas
박정근, 김준현, 김창구
한국화학공학회 2016년 봄 학술대회
16 Etch mechanism of Si3N4 in a C4F6/Ar/O2/CH2F2 plasma
조성운, 김준현, 김창구
한국화학공학회 2015년 봄 학술대회
15 Angular dependence of Si3N4 etch rates in fluorocarbon plasmas
김준현, 조성운, 김창구
한국화학공학회 2015년 봄 학술대회