| 번호 | 제목 |
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Characteristics of SiO2 /Si3N4/SiO2 multilayer Grown by Atomic Layer Deposition for Flash memory applications 박광철, 정광수, 윤원덕, 박종욱, 나사균, 이원준 한국재료학회 2007년 봄 학술대회 |
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화학기상증착법으로 성장된 silane-based와 DCS-based WSix 박막의 특성평가|Characterization of silane-based and DCS-based WSix thin films deposited by chemical vapor deposition 안은정, 김경원, 정칠성, 김호정, 이순영 한국재료학회 2004년 봄 학술대회 |
