번호 | 제목 |
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1 |
The Chemical Structure of a-SiOC:H Films Prepared by PECVD Using the Double Bubbler Systems 양재영, 이성우, 강상우, 윤주영, 성대진, 신용현 한국재료학회 2007년 가을 학술대회 |
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The Chemical Structure of a-SiOC:H Films Prepared by PECVD Using the Double Bubbler Systems 양재영, 이성우, 강상우, 윤주영, 성대진, 신용현 한국재료학회 2007년 가을 학술대회 |