| 번호 | 제목 |
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Fabrication and thermal stability of W, WNx diffusion barriers in the low-k integration structure 전성호, 용기중 한국화학공학회 2006년 봄 학술대회 |
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Tungsten Nitride Chemical Vapor Deposition for Cu Diffusion Barrier Using W(CO)6 이호기, 용기중 한국화학공학회 2003년 봄 학술대회 |
