| 번호 | 제목 |
|---|---|
| 1 |
A Convenient Dry Etching Technology for Fabrication of High Aspect Ratio Structure Using HF/H2O in Supercritical CO2 김도훈, 조범활, 임권택 한국공업화학회 2011년 가을 학술대회 |
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A Convenient Dry Etching Technology for Fabrication of High Aspect Ratio Structure Using HF/H2O in Supercritical CO2 김도훈, 조범활, 임권택 한국공업화학회 2011년 가을 학술대회 |