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다양한 펄스 플라즈마를 이용한 식각 기술 향상을 위한 연구
홍종우, 오지수, 김희주, 김정완, 염근영
한국재료학회 2020년 봄 학술대회 |
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Poly Si Nano-Pattern Etching Using Cl2/Ar Synchronized, Asynchronized Pulsed Inductively Coupled Plasmas
김희주, 김교운, 홍종우, 오지수, 김정완, 이채린, 염근영
한국재료학회 2020년 봄 학술대회 |
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3D Feature profile simulation for the oxide etching under the pulsed fluorocarbon plasma
박재형, 유혜성, 육영근, 오민주, 유동훈, 임연호
한국화학공학회 2019년 가을 학술대회 |
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Si Nanostructure Etching Using Pulsed Inductively Coupled Cl2/Ar Plasma
신예지, 김희주, 김교운, 오지수, 염근영
한국재료학회 2019년 가을 학술대회 |
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Pulsed biased 적용을 통한 Si와 TiO2 나노구조체의 식각 특성 향상에 대한 연구
김희주, 신예지, 오지수, 김교운, 염근영
한국재료학회 2019년 가을 학술대회 |
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Effect of the dual synchronous pulsed plasma on the etch characteristics of SiO2
이호석, 양경채, 박성우, 염근영
한국재료학회 2016년 봄 학술대회 |
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Puled Plasma를 이용하여60 MHz/2 MHz Dual-Frequency Capacitive coupled plasma에서 SiO2의 식각특성에 관한 연구
염근영, 전민환, 김회준
한국재료학회 2013년 봄 학술대회 |
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Cell adhesion and the surface properties of pulsed plasma polymerized allylamine
서동범, 김대훈, 김민형, 김동주, 정은선, 김성룡, 이효정, 이진호
한국고분자학회 2006년 봄 학술대회 |
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Preparation of Polyimide Thin Films by Plasma Polymerization for Optical Applications
안찬재, 윤태호
한국고분자학회 2003년 가을 학술대회 |
