화학공학소재연구정보센터
번호 제목
4 Epitaxial Growth of GaN with Air tunnel on patterned sapphire substrate by using buffer layer
조승희, 정우섭, 고현아, 이두원, 안민주, 심규연, 변동진
한국재료학회 2018년 봄 학술대회
3 Effect of the ELOG GaN using carbonized mask
홍정엽, 김상일, 장삼석, 권준혁, 문성욱, 변동진
한국재료학회 2011년 가을 학술대회
2 ArF resist와 EUV resist의 식각특성 비교
권봉수, 이학주, 김선일, 이내응, 이성권
한국재료학회 2007년 가을 학술대회
1 SiO2 hard mask를 이용한 자성 박막의 건식 식각
송영수, 신 별, 정지원
한국화학공학회 2003년 가을 학술대회