| 번호 | 제목 |
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| 6 |
Effect of Particle Agglomeration by Air Bubble during Tungsten (w) CMP Process 김동규, 정연아, 한광민, 한소영, 진승완, Nagendra Prasad Yerriboina, 김태곤, 박진구 한국재료학회 2020년 봄 학술대회 |
| 5 |
3D NAND 고종횡비 구조에서의 습윤성 거동에 대한 연구 조윤종, 박진구, 김현태, 이찬희, Nagendra Prasad Yerriboina, 김태곤 한국재료학회 2020년 봄 학술대회 |
| 4 |
Mechanistic Study of Different Cleaning Methods to Remove Ceria Particles from Silicon Oxide Surface 한소영, 박진구, Samrina Sahir, Nagendra Prasad Yerriboina, 한광민 한국재료학회 2019년 가을 학술대회 |
| 3 |
Quantitative Comparison of Silica and Ceria Abrasive Contamination on PVA Brush and Its Effect on Post CMP Cleaning Process 조휘원, 류헌열, 황준길, 이찬희, 김여호, 김태곤, Nagendra Prasad Yerriboina, 박진구 한국재료학회 2019년 가을 학술대회 |
| 2 |
A Novel Method to Evaluate the Catalyst Effect on the Performance of W CMP Process 한소영, 정연아, 류헌열, Maneesh Kumar Poddar, Nagendra Prasad Yerriboina, 김재현, 박종대, 이민건, 박창용, 한성준, 김명준, 박진구 한국재료학회 2019년 봄 학술대회 |
| 1 |
Co CMP를 위한 Co-BTA Complex Layer 특성 연구 이찬희, 류헌열, 황준길, 정연아, 조휘원, Nagendra Prasad Yerriboina, 박진구 한국재료학회 2019년 봄 학술대회 |
