번호 | 제목 |
---|---|
1 |
Electrical properties of lanthanum hafnium oxide thin films deposited by electron cyclotron resonance atomic layer deposition 김웅선, 고명균, 김태섭, 박상균, 박종완 한국재료학회 2007년 가을 학술대회 |
번호 | 제목 |
---|---|
1 |
Electrical properties of lanthanum hafnium oxide thin films deposited by electron cyclotron resonance atomic layer deposition 김웅선, 고명균, 김태섭, 박상균, 박종완 한국재료학회 2007년 가을 학술대회 |