화학공학소재연구정보센터
번호 제목
52 BCl3 based ICP Etching of (100) β-Ga2O3 flake
김만경, 김유경, 백광현, 장수환
한국화학공학회 2021년 봄 학술대회
51 Quantitative in-situ Hygrometry for Reduction Degree Analysis of Molybdenum Oxide Reduction Process
송요셉, 이한샘, Haq Muhammad Aneeq, 김범성
한국재료학회 2021년 봄 학술대회
50 Study on Etch Characteristics of PRAM material using Hydrogen based Gases
길유정, 김두산, 김주은, 염근영
한국재료학회 2019년 가을 학술대회
49 Si Nanostructure Etching Using Pulsed Inductively Coupled Cl2/Ar Plasma
신예지, 김희주, 김교운, 오지수, 염근영
한국재료학회 2019년 가을 학술대회
48 Pulsed biased 적용을 통한 Si와 TiO2 나노구조체의 식각 특성 향상에 대한 연구
김희주, 신예지, 오지수, 김교운, 염근영
한국재료학회 2019년 가을 학술대회
47 Quasi-Atomic Layer Etching of SiO2 Layers for Surface Cleaning of Nanoscale Patterns with Fluorocarbons having Low Global Warming Potential
김용재, 채희엽, 조예근, 이상인
한국화학공학회 2018년 가을 학술대회
46 Inductively Coupled Plasma Assissted Sputtering 방식으로 증착된 텅스텐 박막의 특성에 관한 연구
이수정, 김태형, 송창훈, 변지영, 김주은, 염근영
한국재료학회 2018년 가을 학술대회
45 Li Substitution at Alkali-site of Nax[Fe0.5Mn0.5]O2 as Cathode Material for Sodium Ion Batteries
Ji Eun Wang, Woo Hyun Han, Kee Joo Chang, Young Hwa Jung, Do Kyung Kim
한국재료학회 2018년 가을 학술대회
44 Superimposed multi-frequency plasma source 의 plasma diagnostic 및 etch 특성 분석
양경채, 김수강, 신예지, 성다인, 염근영
한국재료학회 2018년 봄 학술대회
43 Li-assisted Na Hopping by Substitution of Li on Nax[Fe0.5Mn0.5]O2 as Cathode Material for Sodium Ion Batteries
왕지은, 정영화, 한우현, 장기주, 김도경
한국재료학회 2018년 봄 학술대회