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BCl3 based ICP Etching of (100) β-Ga2O3 flake 김만경, 김유경, 백광현, 장수환 한국화학공학회 2021년 봄 학술대회 |
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Quantitative in-situ Hygrometry for Reduction Degree Analysis of Molybdenum Oxide Reduction Process 송요셉, 이한샘, Haq Muhammad Aneeq, 김범성 한국재료학회 2021년 봄 학술대회 |
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Study on Etch Characteristics of PRAM material using Hydrogen based Gases 길유정, 김두산, 김주은, 염근영 한국재료학회 2019년 가을 학술대회 |
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Si Nanostructure Etching Using Pulsed Inductively Coupled Cl2/Ar Plasma 신예지, 김희주, 김교운, 오지수, 염근영 한국재료학회 2019년 가을 학술대회 |
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Pulsed biased 적용을 통한 Si와 TiO2 나노구조체의 식각 특성 향상에 대한 연구 김희주, 신예지, 오지수, 김교운, 염근영 한국재료학회 2019년 가을 학술대회 |
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Quasi-Atomic Layer Etching of SiO2 Layers for Surface Cleaning of Nanoscale Patterns with Fluorocarbons having Low Global Warming Potential 김용재, 채희엽, 조예근, 이상인 한국화학공학회 2018년 가을 학술대회 |
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Inductively Coupled Plasma Assissted Sputtering 방식으로 증착된 텅스텐 박막의 특성에 관한 연구 이수정, 김태형, 송창훈, 변지영, 김주은, 염근영 한국재료학회 2018년 가을 학술대회 |
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Li Substitution at Alkali-site of Nax[Fe0.5Mn0.5]O2 as Cathode Material for Sodium Ion Batteries Ji Eun Wang, Woo Hyun Han, Kee Joo Chang, Young Hwa Jung, Do Kyung Kim 한국재료학회 2018년 가을 학술대회 |
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Superimposed multi-frequency plasma source 의 plasma diagnostic 및 etch 특성 분석 양경채, 김수강, 신예지, 성다인, 염근영 한국재료학회 2018년 봄 학술대회 |
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Li-assisted Na Hopping by Substitution of Li on Nax[Fe0.5Mn0.5]O2 as Cathode Material for Sodium Ion Batteries 왕지은, 정영화, 한우현, 장기주, 김도경 한국재료학회 2018년 봄 학술대회 |