번호 | 제목 |
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Crystallinity and energy band structure of atomic layer deposited ZrO2 films using Cp-Zr precursor Hyoseok Song, Hyeongtag Jeon 한국재료학회 2015년 봄 학술대회 |
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Characteristics of TiO2 thin film by remote plasma atomic layer deposition using a novel Ti precursor Chunho Kang, Heeyoung Jeon, Woochool Jang, Hyunjung Kim, Hyoseok Song, Honggi Kim, Hyeongtag Jeon 한국재료학회 2014년 가을 학술대회 |