| 번호 | 제목 |
|---|---|
| 2 |
High Density Plasma Etching of IrMn Thin Films in a HBr/Ar Plasma 이태영, 이일훈, 이광희, 정지원 한국화학공학회 2012년 봄 학술대회 |
| 1 |
HBr/Ar 플라즈마를 이용한 ZnO 박막에 대한 식각 특성 민수련, 정지원, 이장우, 조한나 한국공업화학회 2006년 봄 학술대회 |
| 번호 | 제목 |
|---|---|
| 2 |
High Density Plasma Etching of IrMn Thin Films in a HBr/Ar Plasma 이태영, 이일훈, 이광희, 정지원 한국화학공학회 2012년 봄 학술대회 |
| 1 |
HBr/Ar 플라즈마를 이용한 ZnO 박막에 대한 식각 특성 민수련, 정지원, 이장우, 조한나 한국공업화학회 2006년 봄 학술대회 |