| 번호 | 제목 |
|---|---|
| 3 |
Cu CMP 공정 중 CMP 공정변수에 따른 Cu-BTA Complex 형성 평가 박진구, 이정환, 조병준, 박건호, 김동하, 김진용 한국재료학회 2015년 가을 학술대회 |
| 2 |
Cu CMP 공정 중 Cu 표면에 형성되는 Cu-BTA Complex에 관한 특성 김진용, 조병준, 박진구 한국재료학회 2015년 봄 학술대회 |
| 1 |
Cu CMP 와 Post Cu cleaning 공정 중 Cu 표면 위의 BTA organic complexes에 관한 특성 박건호, 조병준, 김혁민, 박진구 한국재료학회 2014년 가을 학술대회 |
