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Hf(O-iPr)4를 이용하여 원자층증착한 HfO2 박막의 특성분석
김정찬, 허정식, 조용석, 문상흡
한국화학공학회 2004년 가을 학술대회 |
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Atomic Layer Deposition of HfO2 Using Hf(O-iPr)4 and O2
김정찬, 허정식, 조용석, 문상흡
한국화학공학회 2003년 가을 학술대회 |
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BST 박막 제조에 사용되는 Ti(2meip)2 전구체의 열분해 특성|Thermal Decomposition Study of Ti(2meip)2 Precursor for BST film
이 도현,조 성일,허 정식,조 용석,문 상흡,민 요셉|Do Hyun Lee,Sung-Il Cho,Jung Shik Heo,Yong Seok Cho,Sang Heup Moon,Yo-Sep Min
한국화학공학회 2001년 가을 학술대회 |
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BST박막제조에 사용되는 Fluoronate 치환기를 갖는 strontium beta-diketonate 전구체의 열분해 특성|Thermal Decomposition Study of Fluorine Substituted Strontium beta-Diketonate Precursor for BST film
조용석, 조성일, 허정식, 이도현, 문상흡|Yong Seok Cho, Sung-Il Cho, Jung Shik Heo, Do-Hyun Lee, Sang Heup Moon
한국화학공학회 2000년 가을 학술대회 |
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혼합 전구체를 이용한 SrTiO3 박막의 유기 금속 화합물 증착 공정에 관한 연구|Metal Organic Chemical Vapor Deposition of SrTiO3 Thin Films using the Mixed Precursors
허정식, 류현규, 조성일, 조용석, 문상흡|Jung Shik Heo, Hyun-Kyu Ryu, Sung il Cho, Yong Suk Cho, Sang Heup Moon
한국화학공학회 1999년 가을 학술대회 |
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혼합 단일 유기 금속 화합물을 이용한 SrTiO3 박막의 유기 금속 화합물 증착공정에 관한 연구|Metal Organic Chemical Vapor Deposition of strontium titanate (SrTiO3) thin films using the mixed single metal complex
류현규, 허정식, 조성일, 문상흡|Hyun-Kyu Ryu, Jung Shik Heo, Sung il Cho, Sang Heup Moon
한국화학공학회 1998년 가을 학술대회 |
