화학공학소재연구정보센터
번호 제목
4 EUV 리소그래피 마스크 표면에서의 오염입자의 흡착 및 제거 영향에 관한 연구
이구봉, 김민수, 박진구
한국재료학회 2017년 봄 학술대회
3 EUV 마스크 표면 재료 및 carbon 오염물 간의 상호작용 및 carbon 오염물 제거를 위한 세정액 연구
송희진, 김민수, 김현태, 최인찬, 장성해, 박진구
한국재료학회 2016년 가을 학술대회
2 신경작용제 VX의 과산화수소 증기에 의한 제독
류삼곤, 이해완
한국공업화학회 2013년 가을 학술대회
1 Comparison of bacterial adhesion on various surfaces with that of particle
염아람, 심수진, 윤제용
한국공업화학회 2010년 봄 학술대회