번호 | 제목 |
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EUV 리소그래피 마스크 표면에서의 오염입자의 흡착 및 제거 영향에 관한 연구 이구봉, 김민수, 박진구 한국재료학회 2017년 봄 학술대회 |
3 |
EUV 마스크 표면 재료 및 carbon 오염물 간의 상호작용 및 carbon 오염물 제거를 위한 세정액 연구 송희진, 김민수, 김현태, 최인찬, 장성해, 박진구 한국재료학회 2016년 가을 학술대회 |
2 |
신경작용제 VX의 과산화수소 증기에 의한 제독 류삼곤, 이해완 한국공업화학회 2013년 가을 학술대회 |
1 |
Comparison of bacterial adhesion on various surfaces with that of particle 염아람, 심수진, 윤제용 한국공업화학회 2010년 봄 학술대회 |