| 번호 | 제목 |
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Inductively coupled plasma reactive ion etching of ZnO using C2F6 and BCl3-based gas Plasmas 강동진, 이건교, 이병택 한국재료학회 2006년 봄 학술대회 |
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C2F6 유도결합플라즈마(ICP)를 이용한 산화아연(ZnO) 식각에 관한 연구|Inductively coupled plasma reactive ion etching of ZnO using C2F6 gas. 이건교, 이병택 한국재료학회 2005년 봄 학술대회 |
