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SiO2 contact hole etching using heptafluoropropyl methyl ether/pentafluoropropanol/O2/Ar plasmas
유상현, 김창구
한국화학공학회 2022년 봄 학술대회 |
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Angular dependence of etch rates in fluoro-ether/O2/Ar plasmas
유상현, 김창구
한국화학공학회 2021년 가을 학술대회 |
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Etching characteristics of fluoroether/fluoroalcohol/Ar plasmas
유상현, 김준현, 김창구
한국화학공학회 2021년 봄 학술대회 |
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Hydrofluoroether 플라즈마를 이용한 SiO2 식각
유상현, 김창구
한국화학공학회 2020년 봄 학술대회 |
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Deposition of Aluminum doped ZnO(AZO) film on PEN (polyethylene naphthalate)
김정민, 이시우, 김연수, 유상현
한국재료학회 2009년 봄 학술대회 |
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Sol-gel 공정을 이용한 나노 복합 젤 전해질의 제조 및 고체 염료감응 태양전지의 활용
김은이, 최효림, 유상현, 황진명
한국재료학회 2009년 봄 학술대회 |
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효율적인 산소분리를 위한 (La1-xSrx)(Mn0.85Fe0.05Co0.05Ni0.05)O3-δ membrane의 제조 및 특성평가
유상현, 김은이, 최효림, 황진명
한국재료학회 2009년 봄 학술대회 |
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TiO2 Filler Particle이 포함된 고분자 전해질을 이용한 고체염료감응 태양전지의 특성
최효림, 김은이, 유상현, 황진명
한국재료학회 2009년 봄 학술대회 |
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Flexible기판(PEN)상의 PVA-SiO2/parylene의 multi층 형성 공정 최적화 및 film의 보호 특성 평가
구대욱, 움메 파르바, 유상현, 박진호
한국화학공학회 2008년 가을 학술대회 |
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Pechini Method를 통해 합성된 (La1-xSrx)(Mn0.85Co0.05Fe0.05Ni0.05)O3의 산소분리용 Ion Transport Membrane의 특성평가
유상현, 김은이, 윤미영, 최효림, 황진명
한국재료학회 2008년 가을 학술대회 |
