| 번호 | 제목 |
|---|---|
| 3 |
Al Atom Migration in LaAlO3 Thin Film during Thermal Treatment 엄다일, 황철성, 김형준 한국재료학회 2007년 봄 학술대회 |
| 2 |
UV-O3 surface modification effects on the nucleation behavior of atomic-layer-deposited Ru film on low-k dielectric 허재영, 엄다일, 김형준 한국재료학회 2007년 봄 학술대회 |
| 1 |
Atomic layer deposition으로 증착된 Ta2O5 박막의 전도기구에 대한 UV ozone annealing 효과|Effects of UV ozone annealing on conduction mechanism in Ta2O5 thin films deposited by atomic layer deposition 엄다일, 전인상, 노상용, 황철성, 김형준 한국재료학회 2003년 가을 학술대회 |
