| 번호 | 제목 |
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Pulsed biased 적용을 통한 Si와 TiO2 나노구조체의 식각 특성 향상에 대한 연구 김희주, 신예지, 오지수, 김교운, 염근영 한국재료학회 2019년 가을 학술대회 |
| 7 |
NF3/H2O의 혼합 가스 플라즈마를 이용한 실리콘 산화막 건식 식각 공정 최적화 및 오염물 최소화에 대한 연구 이구봉, 김현태, 김민수, 최인찬, 장성해, 박진구 한국재료학회 2016년 가을 학술대회 |
| 6 |
유무기 하이브리드 중합체를 이용한 하드마스크에 관한 연구 유제정, 이경균, 이성구, 황석호, 김상범 한국공업화학회 2010년 가을 학술대회 |
| 5 |
삼차원 구조제어를 통한 고식각선택비 제어기술 황석호 한국공업화학회 2009년 가을 학술대회 |
| 4 |
축전결합 CF4/O2/Ar 플라즈마에 의한 Polymethyl methacrylate (PMMA)와 Polycarbonate 건식식각 비교 노호섭, 박연현, 이성현, 박주홍, 송한정, 이제원 한국재료학회 2008년 가을 학술대회 |
| 3 |
기계적 펌프 기반의 축전 결합형 BCl3/N2와 Cl2/N2 플라즈마를 이용한 GaAs의 건식식각 비교 김재권, 노호섭, 주영우, 박연현, 박주홍, 조관식, 송한정, 이제원 한국재료학회 2007년 가을 학술대회 |
| 2 |
Nanoimprint Lithography 기술과 Reactive ion etcing 기술을 이용한 수십 나노급 상변화 물질 패턴 형성 연구 양기연, 김종우, 홍성훈, 이헌 한국재료학회 2007년 봄 학술대회 |
| 1 |
평판형 유도결합 BCl3/CF4 플라즈마를 이용한 GaAs/AlGaAs 선택적 건식 식각|Selective Dry Etching of GaAs over AlGaAs in a Planar Inductively Coupled BCl3/CF4 Plasma 유승열, 장수욱, 박민영, 이장희, 노호섭, 임완태, 이제원, 조관식, 전민현, 송한정, 백인규, 권민철 한국재료학회 2005년 봄 학술대회 |
